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国家知识产权局信息数据显现，京东方华灿光电（广东）有限公司请求一项名为“石墨盘以及金属有机物化学气相沉积设备”的专利，揭露号CN121826662A，请求日期为2025年12月。
专利摘要显现，本揭露供给了一种石墨盘以及金属有机物化学气相沉积设备，归于半导体技术领域。所述石墨盘包含盘体以及环绕所述盘体的中心安置的多个晶圆槽；所述盘体具有相对设置的榜首外表和第二外表，每个所述晶圆槽的开口均坐落所述榜首外表；所述多个晶圆槽中的榜首晶圆槽的底面朝向所述第二外表洼陷，所述底面具有多个凹槽，所述多个凹槽沿着地点的所述榜首晶圆槽的周向距离安置。本揭露能改进晶圆皎白区域的热场和流场的不均匀性。
天眼查资料显现，京东方华灿光电（广东）有限公司，成立于2022年，坐落珠海市，是一家以从事计算机、居然和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本186000万人民币。经过天眼查大数据分析，京东方华灿光电（广东）有限公司参加招投标项目31次，专利信息107条，此外企业还具有行政许可111个。
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